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首发:~第311章 第一片亮起的硅
操作工小周今年才十九岁,三个月前还在车间学钳工。现在,他的手要控制这台老旧的涂胶机,在硅片上涂出厚度只有一微米、均匀得像湖面一样的光刻胶膜。
他手在抖。
“小周,”赵四走到他身边,“还记得我第一天跟你说的话吗?”
小周抬起头,脸色发白:“记得……您说,我洗的每一片硅片,将来可能用在导弹上,用在飞机上……”
“不是可能。”赵四纠正他,“是一定。你今天涂的这片胶,会成为中国第一颗自主芯片的一部分。将来这颗芯片用在哪里,做什么,都从你这一涂开始。”
小周深吸一口气,用力点头:“赵总工,我……我尽力。”
“不是尽力。”赵四看着他,“是必须。相信自己,相信这三个月你练的那几千遍。”
小周咬紧牙关,按下启动钮。
吸盘旋转起来,越来越快。光刻胶从滴管落下,在离心力作用下迅速摊开,形成一层薄薄的膜。转速、温度、时间……所有参数,小周已经烂熟于心。
涂胶完成。薄膜均匀,没有气泡,没有条纹。
“漂亮!”陈启明凑到显微镜前看了一眼,忍不住赞叹。
小周这才发现自己后背全湿透了,腿一软,差点坐地上。旁边的老师傅赶紧扶住他,拍拍他的肩:“小子,行啊!”
这只是第一步。
涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序,就有七个关键步骤。每个步骤都可能失败,而一旦失败,这片晶圆就废了,三个月的等待,无数人的心血,都废了。
陈启明亲自操作光刻机。
这台六十年代的东德老设备,经过张卫东团队的改造,加装了简易的数控系统。但核心的光学系统还是原来的,分辨率有限,对准精度也有限。
“掩膜版对准。”陈启明眼睛贴在显微镜上,手轻轻转动微调旋钮。
掩膜版上,是“长城1号”的全部电路图案。那是几十个工程师,用放大镜和刻刀,在玻璃板上一点一点刻出来的。最细的线条只有十微米,差不多是头发丝直径的七分之一。
“对准完成。”陈启明直起身,揉了揉发酸的眼睛,“曝光参数?”
“能量300毫焦,时间8秒。”张卫东看着刚改造完的控制面板,“紫外灯管是新换的,强度波动在正负5%以内。”
“开始。”
紫外灯亮了,发出幽幽的紫光。八秒钟,很短。但在场所有人,都觉得这八秒钟,像一个世纪那么长。
曝光完成。晶圆被送入显影槽。
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