你一个三轮组装厂,造出光刻机?

第221章 长天光学突破(1/2)

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首发:~第221章 长天光学突破

大半年的时间转瞬即逝。

郑东新区,长天光学实验室地下核心实验区。

穿过三道除尘风淋室,实验室内常年保持着恒温恒湿的严苛环境。

王立国穿着厚重的全封闭防静电服,虽然隔着口罩,但依然能看出他眼底布满血丝的疲惫,以及根本按捺不住的狂喜。

在他面前的超精密减振台上,安静地放置着一个高达近一米、重达数百公斤的金属圆筒。

这并不是什么普通的金属疙瘩,而是代表着人类光学制造工业皇冠上的明珠——光刻机投影物镜系统。

“许总,我们成了。而且,比国家02专项原定的节点,还要快得多!”

王立国深吸了一口气,对着身旁同样穿着防静电服的许晨说道,声音因为过度兴奋而有些沙哑。

许晨看着眼前的金属圆筒,眼神明亮:“王院士,这就是咱们这大半年来,日夜不停加工出来的心血?具体参数走到哪一步了?”

王立国点了点头,拍了拍金属圆筒汇报道:“许总,其实国家在光刻机研发上早就布局了。按照原本的进度,国内这两年也就是勉强摸到90纳米节点的门槛,而且良品率和稳定性一言难尽。”

“但是,您弄回来的那台汉斯原厂极精密设备,加上天宇不计成本的资金砸下去,彻底打破了物理加工的瓶颈!目前摆在您面前的,是我们打磨出的国内最高水平的ArF(氟化氩)干式光刻机投影物镜系统。它的数值孔径(NA),硬生生被我们推到了0.85!”

看到随行的天宇高管面露疑惑,王立国主动用通俗易懂的话解释起来。

“各位,光刻机的工作原理,就像是我们小时候玩的幻灯片投影仪。咱们的芯片图纸就画在幻灯片上,光线穿过这几十片镜片,把庞大的图纸成比例缩小,精准地印在硅晶圆上。”

“如果说造航母是宏观工业的巅峰,那这玩意儿就是微观工业的神迹。想象一下,你要把整个帝都市的详细交通地图,一比一不差分毫地画在一粒大米上。这套物镜,就是那支用来画图的笔。”

王立国指着金属筒:“因为图纸缩得太小了,光线穿过玻璃时会发生畸变。这套NA0.85的镜头里,每一片镜片的表面平整度误差,被我们磨到了亚纳米级别!什么概念?如果把这片镜片放大到整个地球那么大,它表面的起伏高低,连一根头发丝的厚度都不到!”

随行的高管们听得倒吸了一口凉气。

王立国继续说道:“干式光刻机的物理极限NA是0.93。咱们这套NA0.85的镜头,已经完全能够支撑65纳米工艺节点的芯片量产!如果配合上芯片厂的多重曝光技术,它甚至能去摸一摸45纳米的门槛!这比国家原定的90纳米目标,整整跨越了一个大台阶!”

“好!太好了!”许晨拍了拍王立国的手臂,“能把NA0.85的干式物镜做出来,这就是咱们的入场券。先把65纳米的底子夯实,下一步咱们直接加水,去搞NA1.35的浸没式物镜,向28纳米冲刺!”

许晨转头看向身后的陈立峰:“给王院士团队的所有研发人员发奖金!从晨宇资本账户里拨五千万出来,作为这次攻克物镜系统的专项奖励!”

“我替同事们谢谢许总!”王立国也不客气,搞科研的也是人,不仅要讲情怀,更要讲真金白银。

……

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