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首发:~第16章 钱不是问题
备注写着:“请先看这个,我做的初步工艺评估。”
苏诚点开附件,鼠标滚轮往下滑动。
一行行中英文对照的工艺参数在屏幕上铺展开来。
PhotolithographyResolution(光刻分辨率)≤90nm、EtchingDepthRatio(刻蚀深度比)1:15、PECVDFilmUniformity(薄膜沉积均匀度)±3%、CMPPlanarizationRange(平坦化参数范围)50-100nm。
苏诚看不太懂这些专业术语,但每个术语旁边都被孟哲用红色字体做了详细标注。
光刻分辨率那一栏旁边写着:“90nm节点对应193nm波长光源,需配合相位移掩模技术,此参数与台积电2004年公开的90nm工艺窗口吻合度极高。”
刻蚀深度比旁边写着:“1:15的深宽比在2006年属于第一梯队水平,国内中芯国际当前只能做到1:8左右。”
他越往下翻,嘴角的笑意越深。
这份评估的精细程度说明孟哲看完资料后是认真的。
还有就是孟哲的专业。
看来自己没找错人!
不是随便扫了两眼敷衍几句客气话,而是一个参数一个参数地核对、比对、标注。
每一行红字都透着一个被冷落了多年的技术人员的专业和谨慎。
这个人做过功课。
苏诚把地址发过去,关掉邮件页面,重新打开深圳工业用地的搜索页面。
坪山那个地块旁边又有几个新挂牌的,有一个面积更大,将近三十万平方米,也就是是450亩地大小,价格每平米不到两百八。
还是有些小啊。
一个中型芯片场,要700亩地左右。
万一以后扩大规模,需要更大的地块。
苏诚想要直接搞个1500亩地左右大小的地块,一步步做大。
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