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首发:~第310章 土法上马
到了下午,终于有一批勉强能用。在硅片上曝光后,能形成模糊的图案,虽然线条边缘像狗啃的一样,但至少是个图案。
“赵总工,您看。”林雪把晶圆递过来。
赵四对着光看。线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。
“能蚀刻吗?”
“试了,能。”林雪说,“但蚀刻后的线条更难看,而且有钻蚀现象。”
“先不管美观。”赵四放下晶圆,“用这个胶,做一片完整的芯片,从开始到结束,全过程走一遍。看最终能不能出管芯,能不能测试。”
“现在?”
“现在。”
整个车间都动员起来。这是第一次用自制光刻胶走完整流程,每个人都紧张。
涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、蚀刻……一步接着一步。王技术员全程跟着,脸色煞白,手都在抖。
赵四没催她,只是站在旁边看。
蚀刻完成时,天已经黑了。硅片上传质层上,出现了歪歪扭扭但完整的电路图案。
“成了!”有人小声说。
“还没完。”陈启明很冷静,“还有扩散、离子注入、金属化、划片、封装、测试。差一步都不算成。”
但他眼里有光。
夜里十点,第一片用自制光刻胶制作的管芯终于出来了。丑得让人不忍直视,但毕竟是完整的。
测试台前围满了人。张卫东把管芯夹在探针台上,接通测试仪。
“上电。”
指示灯亮了。
“测电源电流。”
“正常。”
“测基本功能……”
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