第42章 土光刻机制成(2/4)

首发：~第42章 土光刻机制成

事实上整个组装用了两天，最后一天全用来进行校准与调试。

也全靠了沈永健眼下极强的数学能力，哪怕拆装的动手能力不及卓邵文，但在设备的调校上，他对角度、距离、光路计算的精确把控，让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。

“这算成了吧！？沈工？”

随着卓邵文一声压抑着激动、带着微微颤抖的低呼，简易的紫外曝光灯亮起。

透过那精心倒置并调试过的显微镜物镜，在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。

沈永健此刻心情也不由得激动，点了点头回应道。

“成了，初步研制是够用了。”

身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”，虽然样子难看了些

整台机器零件颜色各异，但用是足够用了。

哪怕只是极其初步的验证，也标志着这台光刻机核心部分已搭建完成，具备了进行光刻实验的基础能力！

曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人当下也松了口气。

事实上，这次设备的制造他二人只是打打下手，更多的就是学习而已。

此刻看着那在紫光灯下显现的细微光斑，虽然不甚理解其全部意义，但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终于舒展的、带着成就感的笑意，让他们明白，这应当是件了不起的大事。

经过反复确认使用效果，目前精度暂时勉强够用。

沈永健长舒了口气，连日紧绷的神经稍缓，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。

“邵文同志，辛苦了！这第一步，咱们算是迈出去了！”

“后续等真正的硅晶圆制成后，还有场硬仗要打。”

卓邵文用力点头，眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑，心中的激动难以言喻。

要知道这可是光刻机，哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机，但在卓邵文的视角下，这就是真正的第一代。

“沈工，硅晶圆制成还得多久？”

…