第412章 光损耗破0.8(1/5)

首发：~第412章 光损耗破0.8

光子芯片研发中心的测试台前，第四轮波导样片的数据正在一点一点往外跳。

屏幕左侧叠着三条旧曲线，第一条0.95dB/cm，第二条0.88dB/cm，第三条0.82dB/cm，三条线的终点都被沈明轩用红笔在打印稿上圈过。

实验室里只有设备运行的低响。

两个工程师站在他身后，一个手里拿着记录板，一个盯着实时数据窗口。

沈明轩手里捏着一支红笔，笔帽被他扣在尾端，笔尖悬在打印稿上方。

这一轮从上午开始跑，样片编号是G-4-17，工艺记录里多了一行备注，梯度刻蚀窗口二次修正。

年轻工程师看了一眼前三轮数据，小声说：“沈老师，前三轮趋势是往下的，0.95，0.88，0.82。”

沈明轩没有抬头。

屏幕上的第四条曲线开始成型，前半段比第三条更低一点，中段有一小段抬头，又慢慢下去。

沈明轩把鼠标移到曲线尾端，等最后一个数据点刷新出来。

第四轮数据全部跑完。

屏幕上四条曲线完整叠在一起，从上到下分得清楚，每一条都比前一条低。

沈明轩拿起红笔，在打印稿第一条曲线旁画了一个箭头。

1.1→0.95，刻蚀角度容差过大，高温测试时额外散射损耗明显。

第二个箭头。

0.95→0.88，梯度刻蚀后，侧壁粗糙度从12nm降到8nm。

第三个箭头。

0.88→0.82，刻蚀时间窗口继续收窄，端面损耗没有继续放大。

第四个箭头画到一半，他的笔停住。

曲线终点旁边，测试条件一行一行列着，1550nm，室温，TE模式，样片编号G-4-17，重复测试三次。

最终读数，0.8dB/cm。

旁边的工程师低头确认原始文件名，又看向主屏：“沈老师，重复测试三次都在0.8上下，偏差没有超。”

沈明轩把鼠标移到原始数据导出按钮上，保存，备份，签名。