第87章 震惊的京城，国家最高级别科技机密(2/4)

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赵崇明已在门口等候。

“你就是赵崇明？”

林振邦上下打量这个24岁的年轻人，语气不善：“听说你声称掌握了38nm浸没式光刻机全套技术？”

“是。”赵崇明平静回应。

虽然对方语气不善，但是，到底也是86岁的老大爷，而且，不夸张的说一句，这是真正的国士无双。

自己客气一点也是应该的。

林振邦问道：“你弄得这些专利，这些理论都是你弄出来的？”

“我自己也组建了一个团队！”赵崇明笑了笑。

“好！”

周秉义一步上前，语速如电，“我问你——双工件台在500mm/s高速运动下，如何抑制纳米级振动耦合？你的磁悬浮线圈布局是几极？反馈延迟多少纳秒？”

赵崇明不假思索：“六极Halbach阵列，主动阻尼+预测控制，延迟≤12ns。”

吴启明立刻接话：“浸没流体在晶圆边缘的Marangoni效应如何补偿？”

“动态密封环+局部温度梯度调控，附图见白皮书第38页。”

“光学像差校正用Zernike多项式到几阶？”

“36阶，实时迭代，每曝光场更新一次。”

七位老教授轮番发问，问题从材料热膨胀系数到激光脉冲时序，从真空腔体残余气体分析到洁净室气流组织——

整整三个小时，赵崇明对答如流，无一迟疑。

林振邦盯着他，震惊了。

这小子知道的东西也太杂了吧？

杂也就算了。

关键是，每一样都还是对答如流，很深入。