第670章 下一步：移山！向Alpha样机进军！首(1/5)

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盛夏的午后，紫竹电子港内。

原紫晶半导体生产基地，此刻早已发生了翻天覆地的改变，随着光学研发中心的持续扩张，本来2万平方米的占地面积，硬是提升到了12万平方米。

其中仅有3万平方米属于Fab厂的晶圆制造区，以及动力车间、化学品储藏室、废气废水处理、空调系统等配套支持区。

余下的9万平方米按功能划分为三层布局，最外层是大约2万平方米的缓冲区，包含员工培训中心、材料存储库和模拟测试区。

由风隼安保与安国协会共同守护，形成第一道安全防线。

中层是2万平方米的洁净区，也是研发中心的主战场，被精细划分为光学系统研发区、机械结构测试区和软件算法实验室。

最里层便是占据五万平方米的核心实验室，地处整个区域的中心位置，由八个独立的“纳米级暗室”构成。

暗室墙壁加装了防电磁干扰的铜网屏蔽层，室内温度波动严格控制在0.1摄氏度以内，振动幅度亦精准管控在5纳米以下。

这里是EUV整机集成与测试的关键场地，实验室门口的电子屏会实时显示室内洁净度、温湿度及振动数据，且明确规定非授权人员严禁入内。

在研发中心内，一共有1300多名科研人员，平均年龄37岁，90%以上拥有博士及以上学历，涵盖光学工程、机械设计、真空物理、软件工程等12个学科领域。

因此，星源科技在沪城的分公司，表面上是一家芯片制造厂，实际上却是一座具备世界顶尖水准的EUV光刻机研发基地。

陈延森进入实验室后，首先与林南、汪象朝、章延杰等人深入沟通，详细了解当前研发进度。

在确认真空与洁净环境设计系统的工作正稳步推进后，他随即召集几名微纳光学领域的工程博士与院士，共同部署套刻、调焦精密测量系统的研发任务。

从学历来看，他是团队里唯一的本科毕业生。

可论及话语权，一群年过半百的技术大牛，却总爱围着他，一口一个“陈老师”地喊着。

所有人都心知肚明，若是没有陈延森，他们连下一个技术节点该往哪个方向推进都无法确定。

就像上次陈延森临时去燕京开会，结果研发进度立刻就陷入了停滞状态。

当时一群院士面面相觑，这才彻底醒悟：自己顶多只能胜任执行操作、性能测试和参数记录一类的工作。

要是在关键问题上贸然动脑子做决策，反倒只会帮倒忙。

想通这一点后，他们索性放下身段‘重返青春’，整天跟在陈延森身后，仿佛一下子回到了二十年前、三十年前，那段跟在老师身边虚心求学的时光。

对陈延森而言，他当下的首要目标是：先尽快完成各个子系统的开发工作，待所有子系统就绪后，再将它们整合调试，进而推出第一台Alpha样机，也就是内部测试机。

但眼下，仍有多座“大山”横在他面前亟待攻克，比如套刻精度测量、调平测焦、超洁净环境维持、极致真空环境系统，掩模版、晶圆的缺陷检测等难题。

正当陈延森忙着改进套刻精度测量系统的算法时，彩虹小筑幼儿园真相，终于浮出水面。