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第657章 烛龙 G1051五轴联动数控机床?这特(4/5)

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首发:~第657章 烛龙 G1051五轴联动数控机床?这特

哈工大的章延杰拉着林南、汪象朝等人,快步走进陈延森所在的工作区,语气急促地同步道。

陈延森闻言,不紧不慢地转过身,接过章延杰递来的检测报告。

高精度的导轨、丝杠和轴承,是掩膜台最核心的零部件,对加工技术的要求极高。

即便是江城重型机床集团最先进的DL250型数控超重型机床,都做不出相应的精度。

光刻机的技术栈就像一个木桶,若想容纳更多的空间,就不能有一个短板。

任何一个零件达不到要求,最终造出来的设备,都无法满足高端芯片的生产需求。

陈延森扫了一眼,随后抬起头,看向眼前这群熬得满眼血丝的研发人员。

他是每天五点准时下班,但林南、汪象朝和章延杰等人,通常是熬到22点、乃至凌晨。

功劳虽不多,但苦劳终究是有的。

“几位,辛苦了。”陈延森笑着回应道。

“陈总,我们想给隔壁那台机床取个名字,要是没有它,我们可造不出高精度的气浮轴承。”

林南缓缓开口道。

用于切削打磨气浮轴承的机床,原本是一台德国二手的五轴落地车床,被陈延森带着设备组的人,对里外的设计都进行了改造。

基座采用了一体式花岗岩,龙门式对称结构,确保运动部件重心始终在主轴中心线上,减小颠覆力矩。

之所以选用花岗岩,也是因为它能快速衰减振动,比铸铁的阻尼性能高了一个数量级。

运动系统改用全闭环液体静压导轨,配备一台线性力矩电机。

外加空气静压电主轴、恒温浸泡式冷却系统、单晶金刚石刀具和金刚石砂轮,使它可以制造出定位精度小于10纳米的掩膜台零部件。

陈延森的目光顺着林南的手势,落在隔壁器械室的玻璃上。

这台陈旧的二手机床,此刻已完全看不出原貌,看上去破破烂烂,但该有的主系统、子系统构造全都一应俱全。

被放在超净恒温间的正中心位置!

“烛龙G1051。”陈延森想了想说道。

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